特許
J-GLOBAL ID：200903036970645098
微細構造体およびその作製方法並びにセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-022226
公開番号（公開出願番号）：特開2004-232027
出願日： 2003年01月30日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】局在プラズモン共鳴を応用したセンサに用いられる微細構造体を、試料の僅かな屈折率変化あるいは物性の変化を検出可能なものとする。【解決手段】一表面に複数の微細孔12aが形成された層状の基体12を陽極酸化アルミナ等を用いて構成し、この基体12の前記微細孔12a内に金属微粒子13を充填させるとともに、この金属微粒子13と概略その径以下の距離を置いた状態で、前記一表面において微細孔12aの周囲部分に金属薄膜14を形成して微細構造体10を構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一表面に複数の微細孔が形成された層状の基体と、
この基体の前記微細孔内に充填された金属微粒子と、
この金属微粒子と概略その径以下の距離を置いた状態で、前記一表面において前記微細孔の周囲部分に形成された金属薄膜とからなる微細構造体。
IPC (5件)：
C25D11/04
, C25D11/18
, C25D11/20
, G01N21/27
, G01N21/59
C25D11/04 E
, C25D11/18 311
, C25D11/20 302
, G01N21/27 C
, G01N21/27 Z
, G01N21/59 D
2G059BB04
, 2G059CC16
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE04
, 2G059EE12
, 2G059JJ01
