写像型電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192487
公開番号（公開出願番号）：特開2000-011934
出願日： 1998年06月22日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】いかなる非点隔差及び倍率隔差も補正可能で、低コストで高分解能な耐久性に優れた写像型顕微鏡を提供する。【解決手段】照射用電子線Sを試料面7に照射させる照射手段1、2、3、4、6と、試料面7から放出される写像用電子線Kを電子線検出手段11に結像させる写像手段4、6、8、10とを備えた写像型電子顕微鏡において、写像手段4、6、8、10は、複数のスティグメータ16、17を有し、複数のスティグメータ16、17のうちの少なくとも2つのスティグメータ16、17は、互いに共役と異なる位置に配置する。

請求項（抜粋）：

照射用電子線を試料面に照射させる照射手段と、前記試料面から放出される写像用電子線を電子線検出手段に結像させる写像手段とを備えた写像型電子顕微鏡において、前記写像手段は、複数のスティグメータを有し、該複数のスティグメータのうちの少なくとも2つのスティグメータは、互いに共役と異なる位置に配置されたことを特徴とする写像型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/145 , H01J 37/26

FI (2件)：

H01J 37/145 , H01J 37/26

Fターム (2件)：

5C033SS03 , 5C033SS10

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭59-198648
特開昭57-111936
直接写像型反射電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-095180 出願人：日本電子株式会社

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