特許

J-GLOBAL ID：200903061847030130

基板保持部材及び基板保持方法、基板保持装置、並びに露光装置及び露光方法

発明者： 柴崎 祐一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-096950
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273693
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

【課題】装置の複雑化を回避しつつ、基板の平坦度を良好に維持した状態で保持する。【解決手段】 ウエハホルダ70のホルダ本体71の上面に、同心かつ上面が同じ高さの環状凸部73,74を複数設け、ウエハホルダ70にウエハWが保持された際には、ウエハWの裏面と円環状凸部73,74の上面それぞれとの間に所定のクリアランスが形成されるように、ウエハWを保持する。これにより、ウエハWとホルダ本体71とで規定される空間は、環状凸部により同心の複数の空間S1〜S3に区分される。そして、最も内側にある空間S1から排気機構により気体を吸引することで、ウエハホルダ70よるウエハWの吸着はウエハWの中心部から外周に向かって時間差をもって吸着される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持部材であって、 保持部材本体と; 前記保持部材本体の上面に形成された第1の環状凸部と; 前記保持部材本体の上面の前記第1の環状凸部の内側に形成された少なくとも1つの第2の環状凸部と; 前記保持部材本体の上面の少なくとも前記第1の環状凸部の内側の領域内に所定間隔で配置され、かつ前記第2の環状凸部の上端から所定のクリアランスを介して前記基板を支持する複数のピン状の支持部と;を備え、 前記保持部材本体の、最も内側の前記第2の環状凸部の内側領域に少なくとも1つの排気口が形成されていることを特徴とする基板保持部材。

IPC (2件)：

H01L 21/683 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/68 P ,  H01L21/30 515G

Fターム (20件)：

5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA14 ,  5F031HA33 ,  5F031HA53 ,  5F031JA10 ,  5F031JA47 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA13 ,  5F031PA14 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板保持装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-006574   出願人：株式会社ニコン