特許
J-GLOBAL ID：200903061867836300
変位検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小池 晃
, 田村 榮一
, 伊賀 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-358206
公開番号（公開出願番号）：特開2005-121539
出願日： 2003年10月17日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 光源の波長変動に対する安定性に優れ、小型軽量化に適した変位検出装置を提供する。【解決手段】 発光素子1により発光された光を2つの光La1,La2に分離して出射し、回折格子8により任意の角度に回折された2つの1回回折光Lb1,Lb2を作り出すとともに、戻された回折光Ld1,Ld2を互いに干渉させて、干渉信号を検出する受発光複合ユニット12と、変位を検出するための移動する回折格子11と、受発光複合ユニット12から出射された2つの光La1,La2を回折格子11に照射するとともに、回折格子11からの2つの2回回折光Ld1,Ld2を受発光複合ユニット12へ導く回折格子8と、回折格子11からの2つの1回回折光Lc1,Lc2を反射して再度回折格子11に照射する反射光学系14とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光を出射する光源と、
上記光源から出射された光を、2つの光に分離して外部光学系へ出射し、当該外部光学系から反射される上記2つの光を合成して合成光を生成するビームスプリッタと、
上記ビームスプリッタから出射された2つ光を任意の角度に回折するための第1の回折格子と、
変位を検出するための移動する第2の回折格子と、
回折光を夫々反射する反射手段と、
上記反射手段により反射された回折光が、上記第2の回折格子と第1の回折格子を再び辿って上記ビームスプリッタに戻り、このビームスプリッタにより合成された合成光を光電変換して干渉信号を生成する受光手段とを備えること
を特徴とする変位検出装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01D5/38 A
, G01D5/36 C
, G01D5/36 T
2F103BA01
, 2F103BA03
, 2F103CA04
, 2F103CA08
, 2F103DA01
, 2F103DA12
, 2F103EA15
, 2F103EB02
, 2F103EB12
, 2F103EB16
, 2F103EB28
, 2F103EC01
, 2F103EC10
, 2F103EC11
, 2F103EC13
, 2F103EC14
, 2F103EC15
, 2F103GA01
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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