特許
J-GLOBAL ID:200903080451916814
光学式エンコーダ装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-208579
公開番号(公開出願番号):特開2000-028398
出願日: 1998年07月08日
公開日(公表日): 2000年01月28日
要約:
【要約】【課題】 スケールの移動方向と垂直な方向への移動、もしくはスケールの傾きに対しても、高感度及び高精度で相対位置の検出を可能とする。【解決手段】 光源光を集光レンズを介してビーム分割素子(もしくは偏光分離素子)に入射させて2つのビーム(ここではS偏光とP偏光)を得る。また光の反射率または屈折率が周期的に変化するように設定されたスケールを用意し、このスケールに上記の2つのビームをスケールにおける屈折率の周期ピッチの1/2(もしくは、ピッチの整数位+1/2)互いにずらしてスケールに入射させる。これによりスケールからの反射光は、スリットピッチの1/2周期ずれることになり、これをビームスプリッタを介して受光素子で受光することにより、スケールと光源との相対位置の変化を知ることができる。
請求項(抜粋):
光源と、該光源からの出射光を2つの光束に分離するビーム分離手段と、光の反射率または透過率が周期的に変化する構造を有するスケールと、該スケールに入射させた2つの光束の反射光または透過光を受光する受光手段とを有し、前記ビーム分離手段を出射した2つの光束を、前記スケールにおける周期ピッチの1/2ピッチまたはピッチの整数倍プラス1/2ピッチ互いにずれるように前記スケールに投射し、前記受光手段で受光した前記スケールからの反射光もしくは透過光を光電変換して得られる電気信号に基づいて、前記光源と前記スケールの相対的な位置の変化を検知可能としたことを特徴とする光学式エンコーダ装置。
IPC (3件):
G01D 5/38
, G01B 11/26
, G01D 5/36
FI (3件):
G01D 5/38 A
, G01B 11/26 Z
, G01D 5/36 U
Fターム (23件):
2F003AA13
, 2F003AA17
, 2F003AA21
, 2F003AB02
, 2F003AC02
, 2F003AD01
, 2F065AA01
, 2F065BB27
, 2F065DD03
, 2F065DD04
, 2F065DD13
, 2F065FF15
, 2F065GG12
, 2F065LL04
, 2F065LL28
, 2F065LL31
, 2F065LL67
, 2F065MM02
, 2F065PP11
, 2F065QQ51
, 2F065UU01
, 2F065UU05
, 2F065UU07
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開昭57-149912
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位置検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-052598
出願人:株式会社ニコン
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エンコーダ及びこれを有するシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-188666
出願人:キヤノン株式会社
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