特許
J-GLOBAL ID：200903061877489781

精密基板収納容器

発明者：
岡田 一也

岡田 一也 について

, 
廣畑 達明

廣畑 達明 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について

, 
信越半導体株式会社

信越半導体株式会社 について


代理人 (1件)： 神田 正義 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-191512
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021966
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 精密基板の汚染や生産性の低下を防止し、精密基板の品質を維持することのできる精密基板収納容器を提供する。【解決手段】 複数枚のウェーハを整列収納するポッドケース1の開口正面をポッドドア12で被覆する精密基板収納容器であって、ポッドケース1の底面に装着されるボトムプレート23と、このボトムプレート23の他端部に一体成形されてポッドケース1の背面に起立して隣接するポケット体27とを備える。そして、ポケット体27にウェーハ用の識別プレート29を着脱自在に差し込む。精密基板収納容器から識別コードシール37を剥離する必要がないので、ウェーハの汚染を防止できる。
請求項（抜粋）：
精密基板を収納するポッドケースの開口一端面をポッドドアで覆う精密基板収納容器であって、該ポッドケースの底面に設けられるボトムプレートと、このボトムプレートに設けられて該ポッドケースの他端部に位置するポケット体とを含み、このポケット体に上記精密基板用の識別媒体を収容するようにしたことを特徴とする精密基板収納容器。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B65D 85/86
FI (2件)：
H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R
Fターム (28件)：
3E096AA05 ,  3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA02 ,  3E096DA13 ,  3E096DA14 ,  3E096DA18 ,  3E096DA26 ,  3E096DA30 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02Y ,  3E096EA04X ,  3E096FA08 ,  3E096FA30 ,  3E096GA20 ,  5F031BB01 ,  5F031BB04 ,  5F031BC01 ,  5F031BC02 ,  5F031BC03 ,  5F031BC04 ,  5F031BC10 ,  5F031GG19 ,  5F031LL09 ,  5F031MM05
引用特許：
審査官引用 (2件)

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