特許
J-GLOBAL ID：200903061887089307
形状測定装置および形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-110708
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304463
出願日： 1998年04月21日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 高精度な測定を行うことができる形状測定装置を提供する。【解決手段】 基準部材に対して3次元方向に移動可能なスライダと、該スライダまたは該スライダと一体である部材に対して所定方向に移動可能に支持されたプローブと、該基準部材と該プローブとの該所定方向における距離を検出する第1検出手段とを有し、該プローブの一端を被測定物に接触させ、該第1検出手段の検出結果に基づき該被測定物の形状を測定する形状測定装置において、該スライダまたは該スライダと一体である部材に対する該プローブの該所定方向における相対変位を検出する第2検出手段とを有し、該第2検出手段は、該所定方向と交差する方向から該相対変位を非接触で検出する。また、プローブの支持には少なくとも3回対称性を有し、実質的なばね長さが長くなるように折り畳んだ板ばねを用いる。
請求項（抜粋）：
基準部材に対して3次元方向に移動可能なスライダと、該スライダまたは該スライダと一体である部材に対して所定方向に移動可能に支持されたプローブと、該基準部材と該プローブとの該所定方向における距離を検出する第1検出手段とを有し、該プローブの一端を被測定物に接触させ、該第1検出手段の検出結果に基づき該被測定物の形状を測定する形状測定装置において、該スライダまたは該スライダと一体である部材に対する該プローブの該所定方向における相対変位を検出する第2検出手段とを有し、該第2検出手段は、該所定方向と交差する方向から該相対変位を非接触で検出することを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01B 21/20 C
, G01B 21/20 P
, G01B 5/20 C
, G01B 5/20 J
