特許
J-GLOBAL ID：200903061929474397
圧電薄膜フィルタ、分波器、通信機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-031847
公開番号（公開出願番号）：特開2005-223808
出願日： 2004年02月09日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：
【課題】 通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好な圧電薄膜フィルタ、分波器、通信機を提供する。【解決手段】 開口部1aを有する基板1を設ける。開口部1a上に形成されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜4を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極5a、5b及び下部電極3を対向させて挟む構造の振動部とを有する複数の圧電薄膜共振子を、直列共振子12及び並列共振子11として、それぞれラダー型に配置する。直列共振子12と並列共振子11との電気機械結合係数k2が互いに異なる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、基板から音響的に分離されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極及び下部電極を対向させて挟む構造の振動部とを有する複数の圧電薄膜共振子を、直列共振子及び並列共振子として、それぞれラダー型に配置してなる、圧電薄膜フィルタであって、
前記直列共振子と並列共振子との電気機械結合係数k2が互いに異なることを特徴とする、圧電薄膜フィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108DD08
