ヒータ付き酸素センサ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅原正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303762
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124723
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】製造時にヒータと酸素濃淡電池素子との間に応力が残留しにくく、反りや剥離、さらにはジルコニア固体電解質層への亀裂等の発生が防止されるヒータ付き酸素センサと、その製造方法を提供する。【解決手段】ヒータ付き酸素センサにおいてヒータ22は、抵抗発熱パターン23を覆う多孔質アルミナ製の絶縁層24と、ジルコニア系固体電解質で構成されて絶縁層24を両側から挟むヒータ本体層28,29とから構成され、かつ絶縁層24を取り囲むジルコニア系固体電解質製の結合層19を一部区間で途切れさせて、絶縁層24の露出部40をヒータ22の側面に形成した。焼成時において絶縁層部分に含まれていた有機添加物や不純物等が蒸発あるいは分解して発生するガスが露出部40から効率よく放出され、素子内部に溜まりにくくなるので、得られる素子2に膨れや亀裂等の欠陥が発生しにくくなる。

請求項（抜粋）：

主体金具の内側に測定対象となるガス中の被検出成分を検出する検出素子が配置され、該検出素子は、ジルコニアを主成分とする酸素イオン伝導性固体電解質で構成された素子本体層の一方の面に測定電極を、他方の面に基準電極を形成した板状の酸素濃淡電池素子と、その酸素濃淡電池素子の基準電極側に積層一体化される板状のセラミックヒータとを備え、前記セラミックヒータは、その板厚方向中間部において該セラミックヒータの板面方向に沿って形成される抵抗発熱体パターンと、その抵抗発熱体パターンを埋設する絶縁体を主成分とする絶縁層と、その絶縁層を板厚方向に挟む形態にて配置され、ジルコニアを主成分とする酸素イオン伝導性固体電解質で構成されたヒータ本体層とを有し、前記絶縁層の外周縁は、その一部において前記セラミックヒータの側面に露出する一方、残余部においては前記ヒータ本体層によって覆われていることを特徴とするヒータ付き酸素センサ。

Fターム (3件)：

2G004BB04 , 2G004BJ03 , 2G004BM07

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭62-214347
特開昭63-016258
平坦なセンサエレメント
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-296699 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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