平坦なセンサエレメント

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296699
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194111
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】層構造を備えており、該層構造内に、層状の加熱導体を備えた加熱体が埋め込まれている形式の、ガス成分を規定するための平坦なセンサエレメントを改良して、温度変化時の熱衝撃に対して安定しており、加熱効率の良好な、すなわち均一に加熱にされる平坦なセンサエレメントを提供すること。【解決手段】加熱導体30が層構造の層平面内に、加熱体14の発熱量が層構造の横断面に亘って少なくともほぼ均一に分布するように、配置されている。

請求項（抜粋）：

ガス成分を規定するための平坦なセンサエレメントであって、層構造を備えており、該層構造内に、層状の加熱導体を備えた加熱体が埋め込まれている形式のものにおいて、加熱導体(30)が層構造の層平面内に、加熱体(14)の加熱効率が層構造の横断面に亘って少なくとも均一に分布するように、配置されていることを特徴とする、平坦なセンサエレメント。

引用特許：

審査官引用 (12件)

酸素検出センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-138378 出願人：株式会社日立製作所
特開昭60-098349
特開昭60-128344

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