積層形圧電変位素子及びインクジェット式印字ヘッド

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008517
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198860
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】単一方向に指向性のある変位が得られ、加工の際に最外層に欠けが入ることが少ないので高密度化のために薄く切断することが可能であり、低電圧で必要な変位量を得、歪の少ない変位が得ること。【構成】一方の電極を構成する導電層1と、他方の電極を構成する導電層2とが、互いに平行になるように交互に圧電体3をサンドイッチ状に配設する。前記各導電層1、2に挟まれた部位が活性部6であり、挟まれない部位5、5aが不活性部である。最外層4は内部層(導電層1、2間)より厚く、最外層4にも電界が加わり変位をするように、導電層1、2と平行に最外電極10b、10aを最外層端面に構成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも圧電体と電極とが交互に積層された積層形圧電変位素子であって、前記積層形圧電変位素子の内部層より最外層が厚いことを特徴とする積層形圧電変位素子。

IPC (3件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

H01L 41/08 S , B41J 3/04 103 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-262472
特開昭62-221381
特開昭61-272984

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