特許
J-GLOBAL ID:200903061983507969

スピンコーティング方法および光ディスク

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柏木 慎史 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-399424
公開番号(公開出願番号):特開2003-203400
出願日: 2001年12月28日
公開日(公表日): 2003年07月18日
要約:
【要約】【課題】 面内均一性の向上を図るとともに、量産に際しての品質の安定化を図ることができるようにする。【解決手段】 被膜面に直交する軸心を中心として回転される被膜媒体2に対してノズル14から塗布液を吐出させ、被膜面上の塗布液に作用する遠心力により被膜面に塗布した塗布液を固化させて薄膜を形成する際に、塗布液の表面張力γおよび粘度ηを、20mN/s≦γ<30mN/s、0.50mPa・s≦η<30mPa・s、0.50≦γ/ηの範囲内に設定するようにした。
請求項(抜粋):
被膜面に直交する軸心を中心として回転される被膜媒体に対してノズルから塗布液を吐出させ、前記被膜面上の前記塗布液に作用する遠心力により前記被膜面に前記塗布液を塗布する塗布工程と、前記被膜面に塗布された前記塗布液を固化させて薄膜を形成する薄膜工程と、を含み、前記塗布液の表面張力γおよび粘度ηを、20mN/s≦γ<30mN/s、0.50mPa・s≦η<30mPa・s、0.50≦γ/ηの範囲内に設定するスピンコーティング方法。
IPC (3件):
G11B 7/26 531 ,  B41M 5/26 ,  G11B 7/24 516
FI (3件):
G11B 7/26 531 ,  G11B 7/24 516 ,  B41M 5/26 Y
Fターム (20件):
2H111EA03 ,  2H111EA12 ,  2H111EA22 ,  2H111EA25 ,  2H111EA44 ,  2H111FA01 ,  2H111FA12 ,  2H111FA14 ,  2H111FB42 ,  2H111FB43 ,  2H111FB45 ,  2H111GA07 ,  5D029JA04 ,  5D121AA01 ,  5D121AA04 ,  5D121EE22 ,  5D121EE23 ,  5D121EE24 ,  5D121EE28 ,  5D121GG20
引用特許:
審査官引用 (4件)
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