特許

J-GLOBAL ID：200903062008445479

流体圧力を光学特性に変換する素子および製造方法

発明者： 細川 和生 ,  前田 龍太郎
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-372854
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174558
出願日： 2000年12月07日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】本発明は、微細な流路と圧力検知部とを集積一体化することにより、マイクロ流体素子の微細な流路内部の圧力計測を可能にすることを目的とする。【解決手段】本発明による流体圧力を光学特性に変換する素子は、少なくとも一方が透明である二枚の板を貼り合わせ、その接合界面に回折格子と流路とを両者が連通するようにして設け、流路の内圧の変化による回折格子の変形を回折格子の光学的特性の変化として取り出すようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方が透明である二枚の板を貼り合わせ、その接合界面に回折格子と流路とを両者が連通するようにして設け、流路の内圧の変化による回折格子の変形を回折格子の光学的特性の変化として取り出すようにしたことを特徴とする流体圧力を光学特性に変換する素子。

IPC (4件)：

G01L 9/00 ,  G01F 1/00 ,  G01F 1/34 ,  G02B 5/18

FI (4件)：

G01L 9/00 B ,  G01F 1/00 J ,  G01F 1/34 Z ,  G02B 5/18

Fターム (17件)：

2F030CA02 ,  2F030CC11 ,  2F030CE04 ,  2F030CF07 ,  2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD11 ,  2F055EE31 ,  2F055FF49 ,  2F055GG11 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA45 ,  2H049AA48 ,  2H049AA50 ,  2H049AA55