特許

J-GLOBAL ID：200903062067110510

光導波路部品の製造方法

発明者： 奈良 一孝 ,  植木 健 ,  中村 史朗
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-300314
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133266
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 V溝を有する光導波路部品のコストダウンを図ることができる光導波路部品の製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に平面光導波路コア部4aおよびV溝1dを有する光導波路部品の製造方法であって、基板1上に下部クラッド層3、コア層4を順次積層し、その後、コア層4をエッチングして光導波路コア部4aを形成するとともに、下部クラッド層3とコア層4をマスクにして基板1面のV溝1dを形成する部分を露出させる工程と、前記露出した基板面1cをエッチングしてV溝1dを形成し、次いで、上部クラッド層5を積層した後、V溝1d上の上部クラッド層5を除去する工程を有する。

請求項（抜粋）：

基板上に平面光導波路およびV溝を有する光導波路部品の製造方法であって、基板上に下部クラッド層、コア層を順次積層し、その後、コア層をエッチングして光導波路コア部を形成するとともに、下部クラッド層とコア層をマスクにして基板面のV溝を形成する部分を露出させる工程と、前記露出した基板面をエッチングしてV溝を形成し、次いで、上部クラッド層を積層した後、V溝上の上部クラッド層を除去して、光導波路コア部を有する平面光導波路およびV溝を形成する工程とを有することを特徴とする光導波路部品の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/40

FI (3件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/40 ,  G02B 6/12 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ガイド溝付き光導波路の製作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-171141   出願人：古河電気工業株式会社