特許
J-GLOBAL ID：200903062070804221

分割型トレイレス斜め基板搬送システム

発明者：
笹川 英四郎

笹川 英四郎 について

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上野 茂一

上野 茂一 について

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藤山 泰三

藤山 泰三 について

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縄田 芳一

縄田 芳一 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301270
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118906
出願日： 1999年10月22日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 大きな保持力を要することなく大型の基板を保持し搬送することができ、真空処理室のゲート弁駆動用シリンダを小型軽量化することができる分割型トレイレス斜め基板搬送システムを提供する。【解決手段】 基板を減圧下で処理する真空処理室と、基板を水平姿勢で搬入搬出するローダ/アンローダ部2と、このローダ/アンローダ部との間で基板を受け渡しするとともに、真空処理室との間でも基板を受け渡しし、真空処理室に対して各々が別個独立に基板を出し入れする複数の搬送台車6A,6B,6C,6Dと、これらの搬送台車ごとに真空処理室にそれぞれ開口形成された搬入出口12A,12Bと、これらの搬入出口ごとに取り付けられ、各搬入出口を個別にそれぞれ開閉するゲート弁機構と、搬送台車上にて基板を立ち姿勢で保持する基板保持機構62〜68とを具備する。
請求項（抜粋）：
基板を減圧下で処理する真空処理室と、基板を水平姿勢で搬入搬出するローダ/アンローダ部と、このローダ/アンローダ部との間で基板を受け渡しするとともに、前記真空処理室との間でも基板を受け渡しし、前記真空処理室に対して各々が別個独立に基板を出し入れする複数の搬送台車と、これらの搬送台車ごとに前記真空処理室にそれぞれ開口形成された搬入出口と、これらの搬入出口ごとに取り付けられ、各搬入出口を個別にそれぞれ開閉するゲート弁機構と、搬送台車上にて基板を立ち姿勢で保持する基板保持機構と、を具備することを特徴とする分割型トレイレス斜め基板搬送装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (6件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z ,  C23C 14/34 J ,  C23C 16/44 F ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
Fターム (33件)：
4K029CA05 ,  4K029KA01 ,  4K029KA03 ,  4K030GA03 ,  4K030GA04 ,  4K030GA08 ,  4K030GA13 ,  4K030JA04 ,  5F004AA16 ,  5F004BA06 ,  5F004BB13 ,  5F004BB16 ,  5F004BB19 ,  5F004BB21 ,  5F004BC06 ,  5F004CA05 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA18 ,  5F031GA37 ,  5F031GA58 ,  5F045AA08 ,  5F045AA19 ,  5F045AF07 ,  5F045BB08 ,  5F045DP09 ,  5F045DP11 ,  5F045EB09 ,  5F045EH13 ,  5F045EK23 ,  5F045EM10 ,  5F045EN04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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