走査型荷電粒子ビーム装置における試料像観察方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166731
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357481
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】試料の視野探しを簡単に行うことができる走査型荷電粒子ビーム装置における試料像観察方法を実現する。【解決手段】視野探しモードの場合、あらかじめ試料2の複数の領域で低倍像の取得を行う。各領域ごとに取得された画像信号は、画像メモリー23のいずれかのメモリーに送られて記憶される。この画像メモリー23への画像の記憶の際には、取得した低倍像に対応した試料のX-Y座標、および、像を回転させた場合にはその回転角度と方向が併せて記憶される。各画像メモリーに記憶された各映像信号は陰極線管9に供給され、複数の試料像が陰極線管9に表示される。この試料像から特定の試料像を選択すると、制御装置15は、読み出した座標値に基づき、ステージコントロールユニット21を制御し、X-Yステージ17を駆動し、選択した像に対応した試料位置が電子ビームの光軸上に位置するようにステージを移動させる。

請求項（抜粋）：

機械的なX-Y移動、回転ができるステージ上の試料に荷電粒子ビームを照射すると共に、試料上で荷電粒子ビームを2次元的に走査し、試料への荷電粒子ビームの照射によって得られた信号に基づき試料の走査像を表示するようにした走査型荷電粒子ビーム装置において、試料上の異なった視野の複数の映像信号をそれぞれ試料の位置情報と共に記憶し、記憶した複数の視野の映像信号に基づいて複数の試料像を同時に表示させ、表示された複数の試料像の内の任意の試料像を選択し、選択された試料像に対応した試料位置に試料を自動的に移動させるようにした走査型荷電粒子ビーム装置における試料像観察方法。

IPC (4件)：

H01J 37/20 , G01B 15/00 , G01N 23/225 , H01J 37/22 502

FI (4件)：

H01J 37/20 D , G01B 15/00 B , G01N 23/225 , H01J 37/22 502 A

Fターム (37件)：

2F067AA45 , 2F067AA46 , 2F067AA53 , 2F067EE05 , 2F067EE10 , 2F067HH06 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067NN02 , 2F067PP12 , 2F067QQ02 , 2F067RR12 , 2F067RR30 , 2F067SS02 , 2F067SS13 , 2F067TT01 , 2F067UU32 , 2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001FA06 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA03 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001JA20 , 2G001PA11 , 2G001PA13 , 2G001SA12 , 5C001AA03 , 5C001AA04 , 5C001AA05 , 5C001CC04

引用特許：

審査官引用 (3件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-329638 出願人：株式会社日立製作所
熱交換器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-342952 出願人：サンデン株式会社
特開昭54-078075

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