特許

J-GLOBAL ID：200903062091920850

携帯型プラズマ発生システム

発明者： 佐藤 直幸 ,  池畑 隆 ,  飛田 英夫 ,  奥山 経夫 ,  星 哲哉 ,  櫻井 朗 ,  黒沢 賢
出願人/特許権者： 佐藤 直幸 ,  有限会社飛田理化硝子製作所 ,  多賀電気株式会社 ,  スターエンジニアリング株式会社 ,  有限会社テクノ・サポート ,  エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
代理人 (1件)： 木幡 行雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-022321
公開番号（公開出願番号）：特開2007-207477
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】プラズマ発生用電力の供給部やガスの供給部からの供給線路部を改良し、作業性を改善すること。【解決手段】携帯型大気圧プラズマ発生装置と、ガス供給部、プログラマブル高周波電源部、パルスバイアス電源部及び分光分析部からなるプラズマ発生用機器・分光分析系と、これと携帯型大気圧プラズマ発生装置とを結ぶマルチフレキシブルフィーダ系Bとからなり、フィーダ系Bを、PTFE製ガス導入管B-2aからなるガス供給線路部B-2と、ガス導入管B-2aの外面の溝に埋め込んだ光ファイバーコンジットB-3aからなるファイバー光伝送線路部B-3と、ガス導入管B-2aに外装する電力スリーブB-1bと電力スリーブB-1bに絶縁スリーブB-1cを介して外装する接地スリーブB-1aとからなる電力供給線路部B-1と、ガス導入管B-2aの周側外面の溝に埋め込んだ単線導体からなるパルスバイアス電圧印加線路部B-4とで構成した。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

容量結合型の携帯型大気圧プラズマ発生装置と、該装置外のプラズマ発生用ガス類の供給部及びプラズマ発生用電力の供給部と、前記携帯型大気圧プラズマ発生装置と該装置外の各供給部とを接続するガス供給線路部及び電力供給線路部とで構成した携帯型プラズマ発生システムに於いて、 前記ガス供給線路部及び前記電力供給線路部を一体化して一本のフレキシブルなフィーダに構成した携帯型プラズマ発生システム。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  H05H 1/30 ,  H05H 1/00

FI (3件)：

H05H1/24 ,  H05H1/30 ,  H05H1/00 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許第2589599号公報
  
• 特許第3207469号公報
  
• プラズマ処理装置及びプラズマ点灯方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-193415   出願人：松下電工株式会社