水晶発振式膜厚モニタ用センサヘッド及びこれを用いた膜厚のモニタ方法。

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-339436
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139505
出願日： 2001年11月05日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】簡便で確実な作動が行える構造を有し、成膜工程中の薄膜の膜厚を高い精度でモニタすることが可能な水晶発振式膜厚モニタ用センサヘッドを提供する。【解決手段】水晶板12X(121〜1212)を保持するステンレス鋼製の水晶板ホルダ13と、水晶板12X(121〜1212)の共振周波数を検出するための羽型電極14X(141〜1412)を保持するPTEF樹脂製の電極ホルダ15と、水晶板ホルダ13と電極ホルダ15とから成る回転可能な円板16の回転中心軸17に駆動軸が軸着するように配置した真空用パルスモータ18と、水晶板ホルダ13と電極ホルダ15と真空用パルスモータ18とを被うステンレス鋼製の水冷式ジャケット19と、水晶板ホルダ13を成膜方向から被う窓21付きのステンレス鋼製のマスク20とを備え、真空用パルスモータ18により水晶板ホルダ13を回転して水晶板12X(121〜1212)を切換えることができるように水晶発振式膜厚モニタ用センサヘッド11を構成する。

請求項（抜粋）：

複数の水晶振動子を保持する水晶振動子ホルダと、前記水晶振動子の共振周波数を検出するための電極を保持する電極ホルダと、前記水晶振動子ホルダと前記電極ホルダとを被う熱遮蔽カバーと、前記水晶振動子ホルダと前記電極ホルダとを一体的に回転させる回転機構と、前記水晶振動子保持ホルダと前記電極ホルダと前記回転機構とを冷却する冷却機構とを備え、前記水晶振動子ホルダと前記熱遮蔽カバーとが低熱伝導材料で構成され、前記電極ホルダが電気絶縁材料で構成され、前記回転機構により前記水晶振動子ホルダを回転して前記水晶振動子を切換えることを特徴とする水晶発振式膜厚モニタ用センサヘッド。

IPC (2件)：

G01B 7/06 , C23C 14/52

FI (2件)：

G01B 7/06 Z , C23C 14/52

Fターム (9件)：

2F063AA16 , 2F063BA30 , 2F063BC10 , 2F063EC03 , 2F063EC27 , 2F063LA04 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029EA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-153872
成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-054193 出願人：ミヨタ株式会社

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