特許

J-GLOBAL ID：200903062103438234

光学素子の製造方法

発明者： 秋山 貴之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-332888
公開番号（公開出願番号）：特開2007-136822
出願日： 2005年11月17日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】 本発明は、光学特性の正確なポリマー多層膜を製造することを目的とする。【解決手段】 本発明の製造方法は、屈折率の異なるポリマー材料を積層し、n層(n≧2)からなるポリマー多層膜を形成する製造方法であって、次の工程を少なくとも備える。まず、m層(1≦m<n)の積層を完了した中間段階で、積層済みのポリマー多層膜について光学特性を測定する。この測定された光学特性に基づいて、ポリマー多層膜の最終的な特性誤差を軽減する方向に、これから形成するポリマー膜の厚さを調整する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

屈折率の異なるポリマー材料を積層し、n層(n≧2)からなるポリマー多層膜を形成する製造方法であって、 m層(1≦m<n)の積層を完了した中間段階で、積層済みの前記ポリマー多層膜について光学特性を測定する測定工程と、 測定された前記光学特性に基づいて、前記ポリマー多層膜の最終的な特性誤差を軽減する方向に、これから形成するポリマー膜の厚さを調整する設計調整工程と を備えたことを特徴とする光学素子の製造方法。

IPC (3件)：

B29D 11/00 ,  G02B 5/28 ,  G02B 1/11

FI (3件)：

B29D11/00 ,  G02B5/28 ,  G02B1/10 A

Fターム (18件)：

2H048GA05 ,  2H048GA12 ,  2H048GA33 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62 ,  2K009AA05 ,  2K009CC21 ,  2K009CC38 ,  2K009DD02 ,  2K009DD09 ,  2K009EE00 ,  4F213AH73 ,  4F213AP20 ,  4F213AR12 ,  4F213WA03 ,  4F213WA12 ,  4F213WA43 ,  4F213WB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 高分子光多層膜及び高分子光多層膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-206579   出願人：超技術開発者集団株式会社