石英ガラスおよびその製造方法、ならびにその石英ガラスを用いた熱処理装置および熱処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-141906
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330124
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】金属不純物を含んでいても汚染源とはならない石英ガラスを提供すること。【解決手段】石英ガラスとして、電子スピン共鳴吸収法にて磁束密度3370Gに検出されるSiダングリングボンド(E ́中心)の濃度が3×1019cm-3以上となる領域を含むものを使用する。

請求項（抜粋）：

電子スピン共鳴吸収法にて磁束密度3370Gに検出されるSiダングリングボンドの濃度が3×1019cm-3以上となる領域を含むことを特徴とする石英ガラス。

IPC (2件)：

C03B 20/00 , C03C 3/06

FI (2件)：

C03B 20/00 , C03C 3/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

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