信号観測用電極配置方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平田忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164775
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353746
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】信号観測用電極の配置を自動的に行えるようにした信号観測用電極配置方法及び装置を提供する。【解決手段】入力装置100には、回路接続情報141と自動配置配線情報142が入力される。記憶装置120は、プロセス毎に定義された各配線の層番号、層配線間のコンタクトホールの層番号を配線情報として記憶する配線情報記憶部121と、設計ルール記憶部122は、配線配置に必要な配置の基準値を記憶する自動配置配線情報142を備える。データ処理装置110は、入力装置100からの入力と記憶装置120からの情報に基づき、信号観測用電極が存在するノードの配線を探し出し、回路接続情報141との照合をデータ照合手段112で行い、この配線が最上位層でない場合、設計ルール記憶部122の情報により配線の移動によりノードを最上位層に接続できるか否かを調べる。

請求項（抜粋）：

自動レイアウト設計された配置配線情報に対して等電位追跡を配線の層信号、コンタクトホールの層番号等の配線情報に基づいて実施してレイアウトセルの端子と配線、および配線間の電気的な接続を検索し、前記検索結果による配線と回路セル間の接続が記述された回路接続情報内の配線との間の接続関係が一致するように対応付けをし、前記回路接続情報から推測できる配線名を全ての等電位の配線に付加し、前記全ての等電位の配線について最上位層の配線が存在するか否かを検索し、前記最上位層の配線が存在するときには、その配線名と最上位層配線情報を抽出して出力し、前記最上位層の配線が存在しないときには、配線の移動の可否を条件にして前記配線を前記最上位層に引き出すことができるか否かを判定し、その判定の結果を出力することによって前記最上位層の配線を信号観測用電極として利用することを特徴とする信号観測用電極配置方法。

IPC (4件)：

H01L 21/82 , G01R 1/06 , G06F 17/50 , H01L 21/3205

FI (4件)：

H01L 21/82 P , G01R 1/06 B , G06F 15/60 654 N , H01L 21/88 Z

Fターム (16件)：

2G011AC00 , 2G011AF05 , 5B046AA08 , 5B046BA04 , 5F033UU01 , 5F064AA04 , 5F064BB33 , 5F064DD02 , 5F064DD47 , 5F064EE02 , 5F064EE09 , 5F064EE15 , 5F064EE17 , 5F064EE26 , 5F064EE60 , 5F064HH06

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭63-129466
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-039641 出願人：株式会社東芝
特開平2-191359

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審査官引用 (6件)

特開平2-191359
特開昭63-129466
特開昭63-129466

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