特許

J-GLOBAL ID：200903062161394069

レジストパターン検査方法及びその検査装置

発明者： 青山 寿子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-012783
公開番号（公開出願番号）：特開2005-207802
出願日： 2004年01月21日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】 簡単な方法により複雑な形状のコンタクトホールの開口状況を判別することのできるレジ外ホールパターンの検査方法及び検査装置を実現する。【解決手段】 走査型電子顕微鏡装置等を用い、被検査対象のレジストに電子線を照射し、レジスト表面から発生する2次電子を用いてレジストホールパターンの形状を検査する際に、出力される2次電子の信号を二次元の複数の網目状画素に分割し、各画素の強度分布を任意の閾値で区分し、同一の区分の画素の集合の形状もしくは面積から、レジストパターンの良否を判別する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

ホールを形成したレジストに電子線を照射し、前記レジスト表面から出力される2次電子の信号強度分布を解析してレジストホールパターンの検査を行う検査方法において、 前記レジストホールパターンの出力信号を二次元の複数網目状画素に分割し、各画素の信号強度を、任意の数の閾値で区分し、区分を同一にする画素の集合体である領域の形状もしくは面積から、前記形成されたレジストホールパターンの良否を判別することを特徴とするレジストホールパターンの検査方法。

IPC (2件)：

G01B15/04 ,  H01L21/027

FI (2件)：

G01B15/04 ,  H01L21/30 502V

Fターム (11件)：

2F067AA41 ,  2F067AA57 ,  2F067AA62 ,  2F067BB04 ,  2F067CC15 ,  2F067EE05 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067PP12 ,  2F067RR36

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 寸法測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-167431   出願人：ヤマハ株式会社