希ガスエキシマレーザ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-321328
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163445
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】電子ビーム励起方式、放電励起方式および従来のレーザ励起方式の欠点を除去し、実用化が可能な希ガスエキシマレーザ装置を提供する。【解決手段】レーザチャンバ1内の電子7(共振光軸24に沿って存在する電子)に、励起用の電磁波(マイクロ波、ミリ波などでありレーザ光を含む)あるいは励起用のレーザ光Laが照射され、これら励起用の電磁波あるいは励起用のレーザ光Laの持つエネルギーによって電子7が高速に加速される。このため、電子7とレーザチャンバ1内のレーザ媒質(希ガス)22は、衝突し、いわゆる3体衝突の過程を経て、希ガスが励起され、希ガスエキシマが生成され、希ガスエキシマレーザ光Lbとして、光共振器8を介して発振、出力されるに至る。

請求項（抜粋）：

レーザ媒質となる希ガスが封入されたレーザチャンバを具え、前記レーザチャンバ内の電子にエネルギーを与えることによって、前記希ガスを励起させ、光共振器を介して希ガスエキシマレーザを発振出力させるようにした希ガスエキシマレーザ装置において、前記光共振器の光学系を透過しないように、励起用の電磁波を出力する励起用電磁波出力手段を設け、この励起用電磁波出力手段から出力される励起用電磁波によって、前記レーザチャンバ内の電子にエネルギーを与え、前記希ガスを励起させるようにしたことを特徴とする希ガスエキシマレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/094 , H01S 3/225

FI (2件)：

H01S 3/094 Z , H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭64-068984
特開昭64-068985
特開平4-032281

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