静電チャック装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215994
公開番号（公開出願番号）：特開2000-107969
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】ウエハ吸着面の平面度悪化や、セラミック板の反りやセラミック板からの接着剤層の剥離を長期に亘って防ぐことができ、しかも、耐久性能の高い静電チャック装置。【解決手段】金属基盤12上に、電気絶縁性弾性層14を介して吸着面30となるセラミック層22を有し、電気絶縁性弾性層とセラミック層の間に電極18が形成され、電気絶縁性弾性層は、ゴム成分とフェノール系抗酸化剤とを含有した接着剤からなる。

請求項（抜粋）：

金属基盤上に、電気絶縁性弾性層を介して吸着面となるセラミック層を有し、前記電気絶縁性弾性層とセラミック層の間に電極が形成され、前記電気絶縁性弾性層は、ゴム成分とフェノール系抗酸化剤とを含有した接着剤からなることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (3件)：

B23Q 3/15 , H01L 21/68 , H02N 13/00

FI (3件)：

B23Q 3/15 D , H01L 21/68 R , H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-303186 出願人：富士通株式会社
ゴム系接着剤組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-208528 出願人：日立化成工業株式会社
耐熱性の優れたゴム系接着剤組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-156729 出願人：ミネソタマイニングアンドマニユフアクチヤリングカンパニー

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