静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-303186
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144779
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】静電チャックに関し、残留吸着作用を低減でき、且つ長寿命の静電チャックを得ることを目的とする。【解決手段】基板12と、電極16a,16bを有する表面絶縁層14と、該表面絶縁層と該基板とを接着する接着剤層22とを備え、該接着剤層22は該表面絶縁層14と同等の抵抗をもつセラミック系の接着剤からなる構成とする。

請求項（抜粋）：

基板と、電極を有する表面絶縁層と、該表面絶縁層と該基板とを接着する接着剤層とを備え、該接着剤層は該表面絶縁層と同等の抵抗をもつセラミック系の接着剤からなることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H02N 13/00

FI (2件)：

H01L 21/68 R , H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-034953
温度サイクル動作型セラミツク静電式チヤツク
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-080760 出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイシヨン
試料保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-121711 出願人：株式会社日立製作所

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