特許
J-GLOBAL ID:200903062258045000
圧電結晶及び圧電素子
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-018105
公開番号(公開出願番号):特開2000-219599
出願日: 1999年01月27日
公開日(公表日): 2000年08月08日
要約:
【要約】【課題】 常温付近での周波数温度変化量が±1ppm/°C以下となる圧電結晶及び圧電素子を提供する。【解決手段】 チョクラルスキ-法を用いて作製されたランガサイト型の圧電結晶において、圧電結晶は、La3(TaxNb1-x)0.5Ga5.5O14であり、前記Xの範囲が、0.136≦X≦0.322にする。また、La3(TaxNb1-x)0.5Ga5.5O14をY軸と垂直な方向に切り出された矩形状の振動板10と、振動板10の両面に形成された電極11、12とからなる圧電素子9において、周囲温度をTとする時、前記Xの範囲が0.367-0.0077T≦X≦0.476-0.0077Tにする。このようにすると、常温付近での周波数温度変化量が±1ppm/°C以下にすることができ、安定した動作を行うことができる圧電素子が得られる。
請求項(抜粋):
チョクラルスキ-法を用いて作製されたランガサイト型の圧電結晶において、前記圧電結晶は、La3(TaxNb1-x)0.5Ga5.5O14であり、前記Xの範囲が、0.136≦X≦0.322であることを特徴とする圧電結晶。
IPC (3件):
C30B 29/30
, C30B 15/00
, H01L 41/18
FI (3件):
C30B 29/30 C
, C30B 15/00 Z
, H01L 41/18 101 A
Fターム (6件):
4G077AA02
, 4G077BC40
, 4G077CF00
, 4G077EC07
, 4G077HA11
, 4G077PA06
引用特許:
出願人引用 (4件)
-
酸化物単結晶
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-094915
出願人:株式会社村田製作所
-
ウェハおよび圧電素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-218189
出願人:株式会社サンテック, タワリシチェストボスオグラニチョンノイオトベットストベンノスチユナウチノコメルチェスカヤフィルマ“バンチ”
-
圧電体材料及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-006945
出願人:ティーディーケイ株式会社
前のページに戻る