特許
J-GLOBAL ID：200903062283854931
二次荷電粒子検出装置
出願人/特許権者：
株式会社日立製作所
株式会社日立製作所 について
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269608
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321275
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】一次荷電粒子線の照射により試料から発生した二次荷電粒子を高効率で検出できるようにする。【構成】荷電粒子検出器5及び荷電粒子検出器の前面に設けられた二次荷電粒子引込み・加速用電極6と試料3の間に二次荷電粒子引出用電極10を設けた。二次荷電粒子引込み・加速用電極6には荷電粒子検出器5の信号励起に適した電圧を印加し、二次荷電粒子引出用電極10には一次粒子ビーム1を偏向させることが少なく、かつ試料3から二次荷電粒子を引き出すのに十分な電圧を印加する。電極6、10の周囲には磁気シールドパイプ11を配置する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子検出器と、前記荷電粒子検出器の前面に設けられた二次荷電粒子引込み・加速用電極を備え、一次粒子の照射により試料から発生した二次荷電粒子を試料の側方で検出する方式の二次荷電粒子検出装置において、前記二次荷電粒子引込み・加速用電極と試料の間に二次荷電粒子引出用電極を設けたことを特徴とする二次荷電粒子検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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