特許
J-GLOBAL ID：200903062302104892

触媒担持基板、それを用いたカーボンナノチューブの成長方法及びカーボンナノチューブを用いたトランジスタ

発明者：
本郷 廣生

本郷 廣生 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-330798
公開番号（公開出願番号）：特開2005-126323
出願日： 2004年11月15日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】 基板との密着性、パターニング特性に優れた単層カーボンナノチューブを高い収率で得る技術を提供する。【解決手段】 ベーマイトを表面に有する触媒担体膜104上に、触媒担体膜104の一部を覆う触媒膜150を設け、この触媒膜150を起点として単層構造のカーボンナノチューブ105を気相成長させる。【選択図】 図17
請求項（抜粋）：
基板上に設けられた第1領域と、 前記第1領域の一部を覆うように設けられた第2領域と、 を具備し、 前記第1領域は、第1物質を含む触媒担体部と、前記第1物質を含む金属膜とを備え、 前記第2領域は、前記第1物質とは異なる第2物質を含む触媒部を備え、 前記第1物質は、周期表2族〜14族から選択される少なくとも一種の元素を含む金属またはその化合物であり、 前記第2物質は、カーボンナノチューブを気相成長させる触媒であり、 前記触媒担体部は、前記金属膜の上部が酸化処理または水酸化処理された膜である ことを特徴とする触媒担持基板。
IPC (5件)：
C01B31/02 ,  B01J35/02 ,  H01L21/336 ,  H01L29/06 ,  H01L29/786
FI (5件)：
C01B31/02 101F ,  B01J35/02 Z ,  H01L29/06 601N ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618A
Fターム (61件)：
4G069AA01 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069BA01A ,  4G069BA01B ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BB05A ,  4G069BC40A ,  4G069BC44A ,  4G069BC66A ,  4G069BC66B ,  4G069BC67A ,  4G069BC68A ,  4G069BC70A ,  4G069BC71A ,  4G069BC72A ,  4G069BC73A ,  4G069BC74A ,  4G069BC75A ,  4G069CD10 ,  4G069EA07 ,  4G069FA03 ,  4G069FB02 ,  4G069FB29 ,  4G069FB42 ,  4G146AA11 ,  4G146AC03B ,  4G146AC16B ,  4G146AD30 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BC03 ,  4G146BC08 ,  4G146BC33B ,  4G146BC42 ,  4G146BC44 ,  4G146DA03 ,  5F110AA01 ,  5F110AA04 ,  5F110CC01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE24 ,  5F110GG01 ,  5F110GG44 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HM04 ,  5F110HM12 ,  5F110QQ14
引用特許：
出願人引用 (6件)
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