薄膜トランジスタの検査装置および検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-246616
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110365
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】容量素子の設けられていない薄膜トランジスタでも、素子に悪影響を与えることなく簡単で再現性良く確実に検査できる検査装置又は検査方法。【構成】ゲート電極2にドライブパルス信号とテストパルス信号をそれぞれ入力する検査信号発生手段6と、ソース電極3にドライブパルス信号と同期して試験電圧を入力する試験電圧発生手段7と、駆動電極5と対向配置され、駆動電極との間に試験電荷を蓄える電気容量を形成する外部電極9と、ゲート電極に入力されるテストパルス信号に同期して、駆動電極と外部電極の間に形成された電気容量からソース電極に出力される電気信号を検出する電気信号検出手段8とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

駆動電極と接続したドレイン電極と、ドレイン電極と離間したソース電極と、ソース電極とドレイン電極の間に位置し、絶縁膜によりソース電極およびドレイン電極と絶縁されたゲート電極とを有し、ゲート電極に印加される電圧によりソース電極とドレイン電極の間を流れる電流が制御される薄膜トランジスタの検査装置であり、ゲート電極にドライブパルス信号とテストパルス信号をそれぞれ入力する検査信号発生手段と、ソース電極にドライブパルス信号と同期して試験電圧を入力する試験電圧発生手段と、駆動電極と対向配置され、該駆動電極との間に試験電荷を蓄える電気容量を形成する外部電極と、ゲート電極に入力されるテストパルス信号に同期して、駆動電極と外部電極の間に形成された電気容量からソース電極に出力される電気信号を検出する電気信号検出手段とを具備したことを特徴とする薄膜トランジスタの検査装置。

IPC (5件)：

G01R 31/26 , G01R 31/00 , G02F 1/136 500 , H01L 21/66 , H01L 29/786

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-200121
トランジスタ回路特性検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-270904 出願人：シヤープ株式会社
特開平4-034491

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