赤外線固体撮像素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝日奈宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-370864
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146686
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】高い開口率を達成できる画素の構造を有し、高感度化された2次元赤外線固体撮像素子を提供する。【解決手段】本発明の2次元赤外線固体撮像素子は、熱型光検出器と、入射赤外線による前記熱型光検出器の特性変化を検出する手段とが集積されてなる温度検出機構が、半導体基板上に各画素ごとに2次元に配列された2次元赤外線固体撮像素子であって、前記各画素ごとに、前記半導体基板への熱の流出を制御する熱抵抗の大きい材料からなる支持脚によって支えられておりかつ温度検出素子を含む温度検出部と、該温度検出部と少なくとも1本の接合柱で結合された赤外線吸収部とを前記半導体基板上に設けてなる。

請求項（抜粋）：

熱型光検出器と、入射赤外線による前記熱型光検出器の特性変化を検出する手段とが集積されてなる温度検出機構が、半導体基板上に各画素ごとに2次元に配列された2次元赤外線固体撮像素子であって、前記各画素ごとに、前記半導体基板への熱の流出を制御する熱抵抗の大きい材料からなる支持脚によって支えられておりかつ温度検出素子を含む温度検出部と、該温度検出部と少なくとも1本の接合柱で結合された赤外線吸収部とを前記半導体基板上に設け、前記赤外線吸収部は、2次元に配列された前記各画素と実質的に等しい面積を有する赤外線固体撮像素子。

IPC (6件)：

G01J 1/02 , G01J 5/02 , H01L 27/14 , H01L 35/32 , H01L 37/02 , H04N 5/33

FI (6件)：

G01J 1/02 C , G01J 5/02 C , H01L 35/32 A , H01L 37/02 , H04N 5/33 , H01L 27/14 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

熱形光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-323852 出願人：木村光照
特開平4-252086
特表平7-507867

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