特許
J-GLOBAL ID：200903062426863848
多層反射膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-083914
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294564
出願日： 2003年03月25日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】優れた光学特性を示すのみならず、高い耐傷性、高い機械的強度、そして優れた耐熱性をも示す多層反射膜を提供する。【解決手段】低屈折率膜として、内部に多数の微細空隙を含む非晶質二酸化ケイ素薄膜であって、屈折率(λ=500nm)が1.01乃至1.40の範囲にあり、微細空隙全体の80体積%以上を占める微細空隙の直径が5nm以下である非晶質二酸化ケイ素薄膜を用い、及び/又は、高屈折率膜として、内部に微細な空隙を含む非晶質金属酸化物薄膜であって、屈折率(λ=500nmの光の屈折率)が1.8以上であり、微細空隙全体の80体積%以上を占める微細空隙の直径が5nm以下である非晶質金属酸化物薄膜を用いて、これらを交互に基板上に積層した多層反射膜。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
透明でかつ、内部に多数の微細空隙を含む非晶質二酸化ケイ素薄膜であって、屈折率(λ=500nmの光の屈折率)が1.01乃至1.40の範囲にあり、微細空隙全体の80体積%以上を占める微細空隙の直径が5nm以下である非晶質二酸化ケイ素薄膜と、透明でかつ、屈折率(λ=500nmの光の屈折率)が1.5以上の非晶質金属酸化物薄膜とが交互に基板上に積層されてなる多層反射膜。
IPC (3件)：
G02B5/08
, G02B5/26
, G02B5/28
G02B5/08 A
, G02B5/26
, G02B5/28
2H042DA08
, 2H042DC01
, 2H048FA05
, 2H048FA07
, 2H048FA15
, 2H048FA24
, 2H048GA04
, 2H048GA11
, 2H048GA33
, 2H048GA60
, 4G047CA02
, 4G047CB06
, 4G047CC03
, 4G047CD02
, 4G072AA28
, 4G072BB09
, 4G072BB13
, 4G072CC05
, 4G072GG02
, 4G072HH30
, 4G072KK15
, 4G072KK17
, 4G072LL11
, 4G072MM36
, 4G072NN21
, 4G072RR05
, 4G072TT30
, 4G076AA02
, 4G076AB13
, 4G076BA14
, 4G076BA23
, 4G076CA10
, 4G076CA19
, 4G076FA01
