特許

J-GLOBAL ID：200903062452985200

基板処理装置および通信制御プログラムを記録した記録媒体

発明者： 北本 徹 ,  井上 秀和 ,  吉田 多久司
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066236
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260676
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 ホストコンピュータとの通信において変数の変更を容易に行うことができる通信機能を備えた基板処理装置を提供することである。【解決手段】 メインコトローラ20の装置制御モジュール220は、スレーブコントローラ21からイベントが発生した場合に、イベントおよびポート番号を通信制御モジュール210に転送し、イベントに付随する変数の値をデータベース管理ソフトウェア230を介してデータベース240に格納する。通信制御モジュール210は、装置制御モジュール220から与えられたポート番号に基づいてデータベース240に格納された変数の値を取得し、イベントおよび変数の値をメッセージとしてホストコンピュータ30に送信する。

請求項（抜粋）：

ホストコンピュータとの間で通信を行う機能を有する基板処理装置であって、基板に所定の処理を行う基板処理部と、記憶手段と、前記ホストコンピュータとの通信を制御する第1の制御手段と、前記基板処理部の処理に基づく情報およびその情報に関連する変数の値のうち前記情報を前記第1の制御手段に与えるとともに前記変数の値を前記記憶手段にデータベースとして記憶させる第2の制御手段とを備え、前記第1の制御手段は、情報と変数との対応関係を保有するとともに、前記第2の制御手段から与えられた情報に対応する変数の値を前記対応関係に基づいて前記記憶手段の前記データベースから取得し、前記第2の制御手段から与えられた情報および前記データベースから取得した変数の値を前記ホストコンピュータに送信することを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 A

Fターム (6件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031PA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-164288   出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (1件)

• 制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-164288   出願人：東京エレクトロン株式会社