制御システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164288
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016797
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】半導体ウエハ等の被処理基板を処理する複数の処理装置を一元管理の下で制御するシステム形態とした場合の、製造システム全体の保守性の向上を図る。【解決手段】各処理装置毎のレシピ(プロセス条件値)の集中管理やレシピに基づく各処理装置11のプロセスコントロールをはじめとして、各処理装置11から得られる全てのプロセスデータの解析処理を行い、その解析結果やプロセスデータの集中モニタリング処理、更には解析/統計結果をレシピに反映させる処理等を行うAGC(アドバンス・グループ・コントローラ)を制御システムに付加接続する。各処理装置11から得られる全てのプロセスデータやその解析結果をモニタリングできることで、処理装置の異常や劣化状態をより詳細かつ早期に発見することができる。

請求項（抜粋）：

被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、前記各制御装置より受信したプロセスデータに基づいて前記各制御装置を制御するホストコンピュータと、前記各制御装置より受信したプロセスデータを収集する手段、前記収集したプロセスデータを解析する手段、および前記解析の結果を出力する手段を有するコントロール装置とを具備し、前記個々の制御装置は、プロセスデータを生成する手段、前記生成されたプロセスデータの中から予め設定された一部のプロセスデータを前記ホストコンピュータに送信する手段、および前記生成された全てのプロセスデータを前記コントロール装置に送信する手段を有することを特徴とする制御システム。

IPC (3件)：

H01L 21/02 , G05B 23/02 301 , G05B 23/02 302

FI (3件)：

H01L 21/02 Z , G05B 23/02 301 U , G05B 23/02 302 S

引用特許：

審査官引用 (1件)

スマートハブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-057763 出願人：株式会社東芝

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