特許
J-GLOBAL ID：200903062456441433

極端紫外光光源装置

発明者：
新美 剛太

新美 剛太 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-013959
公開番号（公開出願番号）：特開2007-200919
出願日： 2006年01月23日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：
【課題】中間集光点におけるEUV光の輝度分布が光軸対称性を有するようにし、EUVを利用した露光装置の光学系の設計を容易にすること。【解決手段】第1の電極2aに貫通孔2cを設け、第2の電極2bをこの貫通孔2cの一方の側に近接させて設ける。第2の電極2bは回転し、液体状または固体状の原料を、第1の電極2aの貫通孔の中心軸上の貫通穴近傍に搬送する。そして、レーザ光を照射して原料を電離させ、第1の電極2aと第2の電極2b間に放電電圧を印加して放電電流を流し、電離した原料から上記貫通孔内に高密度高温プラズマを生成させてEUV光を発生させる。貫通孔2cの中心軸と、EUV光を集光する集光鏡3の光軸を一致させ、貫通孔の中心軸と放電電流の流れる方向を一致させる。これにより、輝度分布が光軸対称性を有するEUV光を取り出すことができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
貫通孔を有し接地された第1の電極と、 上記第1の電極の貫通孔の一方の側に近接して設けられ、回転機構が接続されて回転し、高電圧が印加される第2の電極と、 上記第2の電極に、極端紫外光を放射する液体状または固体状の原料を供給する原料供給手段と、 上記第2の電極が回転することにより上記第1の電極の貫通孔近傍に運ばれた上記原料を、上記貫通孔内で電離させる電離手段と、 上記電離した原料から高密度高温プラズマを生成させるために、上記第1の電極と第2の電極間に電力を供給する電力供給手段と、 上記高密度高温プラズマから放射される極端紫外光を集光する集光鏡とを備えた極端紫外光光源装置において、 上記第1の電極に形成されている貫通孔の中心を通る軸と、上記集光鏡の光軸とが一致している ことを特徴とする極端紫外光光源装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  H05G 2/00
FI (2件)：
H01L21/30 531S ,  H05G1/00 K
Fターム (5件)：
4C092AA04 ,  4C092AB22 ,  4C092AC09 ,  4C092BD11 ,  5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 国際公開第2005/025280号パンフレット
  • 伸張可能な薄膜を備える汚染バリヤ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-426987   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ

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