特許
J-GLOBAL ID：200903062502086163
光ファイバ母材の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸谷 重徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-303598
公開番号（公開出願番号）：特開平9-124334
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、デポジションの開始時から終了に至るまで、極めて安定したガラス微粉末の堆積を行うことができる光ファイバ母材の製造方法を提供せんとするものである。【解決手段】 かゝる本発明は、チャンバ内においてターゲットとなる中心部材の周囲にガラス微粉末(スート)を堆積させて光ファイバ母材を製造すに際して、前記ガラス微粉末の堆積成長につれてチャンバ内の排気引圧を増大させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法であり、この排気引圧の制御によって、デポジションの開始時から終了に至るまで、極めて安定したガラス微粉末の堆積を行うことができる。
請求項（抜粋）：
チャンバ内においてターゲットとなる中心部材の周囲にガラス微粉末(スート)を堆積させて光ファイバ母材を製造すに際して、前記ガラス微粉末の堆積成長につれてチャンバ内の排気引圧を増大させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
IPC (2件)：
C03B 37/018
, G02B 6/00 356
C03B 37/018 C
, G02B 6/00 356 A
