特許
J-GLOBAL ID:200903062515805053
積層フィルムの検査方法及び積層フィルムの検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
尾崎 雄三
, 梶崎 弘一
, 谷口 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-135714
公開番号(公開出願番号):特開2008-292201
出願日: 2007年05月22日
公開日(公表日): 2008年12月04日
要約:
【課題】位相差バラツキを有するセパレータが積層されている積層フィルムの検査を行なうに際して、セパレータの全領域にわたって精度のよい検査を行なうことが可能な積層フィルムの検査方法を提供する。【解決手段】少なくとも、偏光子14と、セパレータ11とが積層されている積層フィルム1の欠陥検出を行うに際して、検査用光源2を用いて積層フィルム1を照射する工程と、この検査用光源2による透過光像を検査用偏光フィルター4と検査用位相差フィルター3とを介して撮影する工程と、を有し、積層フィルム1の検査領域が複数の小領域1aに分割設定されており、各領域ごとに検査用偏光フィルター4及び検査用位相差フィルター3を位置させる工程と、位置させた検査用位相差フィルター3を回転させて、透過光が最も吸収される回転位置を検出する工程と、検出された回転位置において、当該小領域1aの透過光像を撮影する工程と、を有する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
少なくとも、偏光子と、位相差層とが積層されている積層フィルムの欠陥検出を行うに際して、
検査用光源を用いて積層フィルムを照射する工程と、この検査用光源による透過光像を検査用偏光フィルターと検査用位相差フィルターとを介して撮影する工程と、を有する積層フィルムの検査方法であって、
積層フィルムの検査領域が複数の小領域に分割設定されており、各領域ごとに検査用偏光フィルター及び検査用位相差フィルターを位置させる工程と、
位置させた検査用位相差フィルターを回転させて、透過光が最も吸収される回転位置を検出する工程と、
検出された回転位置において、当該小領域の透過光像を撮影する工程と、を有する積層フィルムの検査方法。
IPC (3件):
G01N 21/958
, G01M 11/00
, G01N 21/88
FI (3件):
G01N21/958
, G01M11/00 T
, G01N21/88 H
Fターム (10件):
2G051AA90
, 2G051BA08
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051DA05
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G086EE05
, 2G086EE10
引用特許:
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