特許
J-GLOBAL ID:200903062559919196
多層膜反射鏡、その再生方法及び露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-335370
公開番号(公開出願番号):特開2005-098930
出願日: 2003年09月26日
公開日(公表日): 2005年04月14日
要約:
【課題】 多層膜反射鏡を作り直す場合に、基板表面に影響を与えることなく、多層膜を除去することのできる多層膜反射鏡等を提供する。 【解決手段】 シリコン基板2の表面は、回転放物面形状に高精度で加工されている。シリコン基板2の表面には、下地層1が成膜されており、下地層1の上にMo/Si多層膜3が成膜されている。Mo/Si多層膜3の成膜されている領域の面積は、銀薄膜1の成膜領域よりも狭くなっており、銀薄膜1の一部がMo/Si多層膜3から露出している。下地層1の露出している部分には、粘着材が塗布されたポリイミドテープ4が貼り付けられている(図1には一部のみが示されている)。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板と、
酸によって除去又は剥離が可能な物質からなり、該基板の表面に成膜された下地層と、
該下地層の上に成膜された反射多層膜と、
を具備することを特徴とする多層膜反射鏡。
IPC (5件):
G21K1/06
, G02B5/08
, G02B5/10
, G03F7/20
, H01L21/027
FI (9件):
G21K1/06 B
, G21K1/06 D
, G02B5/08 A
, G02B5/10 C
, G03F7/20 503
, G03F7/20 521
, H01L21/30 515D
, H01L21/30 517
, H01L21/30 531A
Fターム (17件):
2H042DA01
, 2H042DA12
, 2H042DA14
, 2H042DB02
, 2H042DC02
, 2H042DD06
, 2H042DE00
, 2H042DE07
, 2H097AA02
, 2H097AA03
, 2H097BA10
, 2H097CA15
, 2H097EA01
, 2H097GB00
, 2H097LA10
, 5F046GB01
, 5F046GD10
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
X線発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-127600
出願人:株式会社ニコン
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