特許
J-GLOBAL ID：200903072581069215

X線発生装置

発明者：
神高 典明

神高 典明 について

, 
近藤 洋行

近藤 洋行 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127600
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321395
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】 X線の取り出し方向について、不都合な飛散粒子の付着、堆積を低減して、その結果、長時間安定して使用できるX線発生装置を提供すること。【構成】 減圧された真空容器内の標的部材303に励起エネルギービーム311を照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置であり、前記標的部材303及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置において、前記X線を取り出す範囲に相当する立体角領域に隣接または近接する飛散粒子阻止部材330を設けたことを特徴とするX線発生装置。
請求項（抜粋）：
減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置であり、前記標的部材及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置において、前記X線を取り出す範囲に相当する立体角領域に隣接または近接する飛散粒子阻止部材を設けたことを特徴とするX線発生装置。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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