特許
J-GLOBAL ID：200903062611208570
磁気ヘッド構造体の研磨方法及びその装置並びに磁気ディスク装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265358
公開番号（公開出願番号）：特開平8-129716
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、薄膜磁気ヘッド構造体等を高精度で、且つ高スループットで研磨する磁気ヘッド構造体の研磨方法及びその装置、磁気ヘッドの製造方法並びに磁気ディスク装置を提供することにある。【構成】本発明は、研磨工具(研磨定盤)5に対して複数の磁気ヘッド素子部を連ねた磁気ヘッド構造体3の研磨面(浮上面40及び裏面)に対向する面を空気圧又は空気流体圧で押して前記磁気ヘッド構造体3と前記研磨工具5との相対的研磨運動により前記複数の磁気ヘッド素子部を連なった磁気ヘッド構造体の研磨面を前記研磨工具により研磨することを特徴とする磁気ヘッド構造体の研磨方法及びその装置である。
請求項（抜粋）：
研磨工具に対して磁気ヘッド構造体の研磨面に対する面を空気圧又は空気流体圧で押して前記磁気ヘッド構造体と前記研磨工具との相対的研磨運動により前記磁気ヘッド構造体の研磨面を前記研磨工具により研磨することを特徴とする磁気ヘッド構造体の研磨方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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