特許
J-GLOBAL ID:200903062632217863

感光材料の感度検出方法および装置並びに露光補正方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-009400
公開番号(公開出願番号):特開2005-202227
出願日: 2004年01月16日
公開日(公表日): 2005年07月28日
要約:
【課題】 感光材料および走査光を相対的に移動させて感光材料を走査光により2次元状に走査する露光装置を用いた感光材料の感度検出方法において、マスクなどの影響を受けることなく常に適切な感度を検出する。 【解決手段】 感光材料および走査光を相対的な移動速度を変化させて感光材料を走査して段階的に増加する複数の記録エネルギーで走査された複数の感度検出用画像をそれぞれ感光材料の異なる位置に形成し、その形成された複数の感度検出用画像に基づいて感光材料の感度を検出する。【選択図】 図19
請求項(抜粋):
感光材料および走査光を相対的に移動させて前記感光材料を前記走査光により2次元状に走査する露光装置を用いた前記感光材料の感度検出方法において、 前記感光材料および前記走査光の相対的な移動速度を変化させて前記感光材料を走査して段階的に増加する複数の記録エネルギーで走査された複数の感度検出用画像をそれぞれ前記感光材料の異なる位置に形成し、 該形成された複数の感度検出用画像に基づいて前記感光材料の感度を検出することを特徴とする感度検出方法。
IPC (2件):
G03F7/26 ,  G03F7/20
FI (2件):
G03F7/26 501 ,  G03F7/20 501
Fターム (7件):
2H096AA26 ,  2H096LA17 ,  2H097AB05 ,  2H097BB01 ,  2H097GB02 ,  2H097LA09 ,  2H097LA20
引用特許:
出願人引用 (3件)

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