感光性樹脂組成物密着性向上剤及びそれを含有する感光性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鐘尾宏紀 , 野口武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-163206
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361872
出願日： 2003年06月09日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】感光性樹脂組成物の保存安定性を低下させることなく、基板に対する感光性樹脂組成物の密着性を向上させる。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂と感光剤を含む感光性樹脂組成物に、下記一般式(1)〜(5)で表わされるスルホニル基置換窒素化合物あるいは下記一般式(6)〜(8)で表わされるチアジアゾール化合物、例えば1-メシチレンスルホニル-1,2,4-トリアゾール、4,5-ジフェニル-1,2,3-チアジアゾールを添加、含有させ、基板に塗布する。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)〜(5)で表わされるスルホニル基置換窒素化合物あるいは下記一般式(6)〜(8)で表わされるチアジアゾール化合物からなる感光性樹脂組成物密着性向上剤。

IPC (2件)：

G03F7/004 , G03F7/022

FI (2件)：

G03F7/004 501 , G03F7/022

Fターム (11件)：

2H025AA14 , 2H025AB13 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB29 , 2H025CC06 , 2H025FA03 , 2H025FA17

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭58-054335
特開昭58-054335
特開昭57-060327

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