スズドープ酸化インジウム膜の高比抵抗化方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東海裕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-328827
公開番号（公開出願番号）：特開平6-157036
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：

【要約】【目的】200〜3000Ω/□の比較的高抵抗で、均一性に優れたスズドープ酸化インジウム膜を得る成膜方法を提供する。【構成】成膜に際し、第三成分を、Inに対して0.05〜20原子%添加してなるスズドープ酸化インジウム膜の成膜方法。【効果】該方法により、高抵抗、かつ、均一性に優れたITO膜をより効率的に成膜することができる。

請求項（抜粋）：