特許
J-GLOBAL ID：200903062661923181
アークチューブおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森山 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179493
公開番号（公開出願番号）：特開2000-011955
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 球状部を有する石英ガラス管の球状部両側に1対のモリブデン箔がピンチシールされてなるアークチューブにおいて、リーク発生の原因となるモリブデン箔および石英ガラス管間の剥離発生を効果的に防止する。【解決手段】 1つ目のモリブデン箔に対するピンチシールを、従来のように石英ガラス管内に不活性ガスを流入させた状態で行うのではなく、石英ガラス管4の下端部をシールした後、その内圧が100torr以下の負圧状態になるようその上端部から排気するとともにピンチシール予定部4bを加熱しながら、該ピンチシール予定部4bをピンチャーで圧潰することにより行う。これにより、圧潰の際、加熱されたピンチシール予定部4bの内壁面4cがモリブデン箔12側に引き寄せられるようにし、ピンチシール後のモリブデン箔12と石英ガラス管4との界面に微細な凹凸を生成させて両者を噛合い状態とするとともにその接合面積を増大させる。
請求項（抜粋）：
球状部を有する石英ガラス管の球状部両側に1対のモリブデン箔がピンチシールされてなるアークチューブにおいて、上記各モリブデン箔における上記石英ガラス管との界面の表面粗さが、十点平均粗さで1μm以上(基準長さ0.08mm)に設定されている、ことを特徴とするアークチューブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 61/36 B
, H01J 9/32 D
5C012LL05
, 5C043AA10
, 5C043AA13
, 5C043AA14
, 5C043AA15
, 5C043CC05
, 5C043CD01
, 5C043DD02
, 5C043DD03
, 5C043DD12
, 5C043DD18
, 5C043DD39
