特許
J-GLOBAL ID：200903062703644857
被処理体の搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-120866
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293534
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】【目的】 搬送路を移動自在な搬送装置本体1に駆動手段2を介して取り付けられ、該駆動手段2の稼働によりアーム3、4を進退させて被処理体Pの受け渡しを行うように構成された搬送装置126において、駆動手段2において発生したパーティクルを効果的に除去する。【構成】 駆動手段2を覆うカバー70と、該カバー70内を吸引する吸引手段76を設けることにより、被処理体Pの受け渡しを行う際に駆動手段2が稼働することによって発生したパーティクルがカバー70の外部に漏れ出ることを防止する。
請求項（抜粋）：
搬送路を移動自在な搬送装置本体に駆動手段を介して取り付けられ、該駆動手段の稼働によりアームを進退させて被処理体の受け渡しを行うように構成された搬送装置において、前記駆動手段を覆うカバーと、該カバー内を吸引する吸引手段を設けたことを特徴とする、被処理体の搬送装置。
引用特許：
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