特許

J-GLOBAL ID：200903062716986374

機能性物品

発明者： 海老沢 純一 ,  佐藤 一夫 ,  青峰 信孝 ,  相川 勝昭 ,  野田 和良
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209778
公開番号（公開出願番号）：特開平9-052733
出願日： 1995年08月17日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】直流スパッタ法で、大面積に、安定して製造することが可能な、耐久性や長期信頼性に優れた機能性物品の提供。【解決手段】基体4上に、機能性薄膜層1と、Zr、Ti、Sn、TaおよびNbからなる群から選ばれる少なくとも1種とSiとの窒化物または酸窒化物からなるオーバーコート層2とが順次形成された機能性物品。

請求項（抜粋）：

基体上に、機能性薄膜層と、金属の窒化物または酸窒化物からなるオーバーコート層とが順次形成された機能性物品において、前記金属の窒化物または酸窒化物が、Zr、Ti、Sn、TaおよびNbからなる群から選ばれる少なくとも1種とSiとの窒化物または酸窒化物であることを特徴とする機能性物品。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 熱処理被覆ガラスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-309338   出願人：旭硝子株式会社
• 特開平4-285033
  
• 特開平4-042837