特許

J-GLOBAL ID：200903062721473350

ウエハ試験および自動較正システム

発明者： ロイ イー.マロリー ,  ピター ドメニカリ ,  ノエル エス.ポデゥジェ ,  アレクサンダー ベリャエヴ ,  ピター エイ.ハーベイ ,  リチャード エス.スミス
出願人/特許権者： エーディーイー コーポレーション
代理人 (1件)： 高橋 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-056843
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070162
出願日： 1997年02月25日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高速で低コストのウエハ試験および自動較正システムを提供する。【解決手段】 鉛直面内でウエハを回転させるとともに、ウエハ回転面に平行な軸に沿って直線的に走査センサを移動させ、これによってウエハ全体にわたる螺旋状その他の走査経路を得るようにした計測ステーション118である。ウエハを鉛直の向きに置くことによって、特に大きな(たとえば300mmの)ウエハの重量によるたわみによって引き起こされる誤差が低減される。計測ステーションには複数のウエハグリッパがあって、それらは、ウエハの面内で移動してウエハを回転のために所定位置に固定する。計測ステーションはまた、複数のマスタ較正ゲージ212を有し、それによって、較正が簡単化され、較正試験用ウエハが必要でなくなる。得られたプローブ計測データは早い時期にデジタル化され、その後デジタル的に較正され、復調され、フィルタリングその他の処理がなされる。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハの平坦度と厚さと形状とのうちの少なくとも一つを試験するために、半導体ウエハを回転支持する装置において、回転のためにウエハを保持するため複数のグリッパを間隔をおいて周囲に配設したロータと、そのロータの回転位置を電子的に示すエンコーダと、前記ロータの周囲に配置され、V字溝ブロック内においてウエハが前記ロータ内で鉛直となるように保持するグリッパと、を有し、前記グリッパは、スリットアームを持つW字形支持体を有し、そのアームは、前記内側のW字形アームに取り付けたV字溝ブロックと前記外側のW字形アームに設けられたロータ用アタッチメントとの間の平行四辺形として機能するものであり、さらに、前記グリッパのうちの少なくとも二つに向けて弾性ばね荷重を加える前記グリッパのための弾性サスペンションを有し、その少なくとも二つのグリッパは、ウエハが前記グリッパ内に支持されている間、ロータに対して所定の位置を越えてウエハに向かう動作に抗するように保持されるものであり、前記ロータの上で前記ウエハの面内で支持された複数の較正ゲージであって、種々の厚さおよび位置を有し、前記ロータから取り外せる複数のセグメントにグループ化され、較正ゲージは各セグメントから取り外し得る較正ゲージと、距離を表す出力信号を提供するウエハ試験プローブであって、ウエハが前記ロータ内で支持されたときにそれらの間のウエハまでの距離を測定するために、前記装置内で一表面の上方に支持されたウエハの面とほぼ平行な面内で移動可能なプローブアーム内に支持されたプローブと、前記プローブアームをその上で動的に支持する、空気によって支持されたプローブアーム支持体と嵌まり合う前記表面の中央長尺隆起部と、前記表面上方のプローブアームの直線的位置を電子的に定義する直線エンコーダと、前記ロータに回転を与え、慣性による回転をさせるようにそのロータを切り離すロータ駆動機構と、前記プローブアームに直線運動を与え、前記プローブが、前記エンコーダを通じて、前記ロータの慣性による回転に合わせてウエハの両面を横切るように動くようにし、前記プローブが、ウエハの表面を横切る所定のパタン内を動くようにし、前記較正ゲージの前記プローブにより走査を与える、プローブアーム駆動機構と、前記ロータ駆動機構およびプローブに接続され、前記ロータの慣性回転の途中で、前記パタンと前記較正トレースの中選択された点で、データを取る計測制御装置と、を具備する装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/66 B ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウエハの位置ズレ補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-087382   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• 特開昭62-284248