特許

J-GLOBAL ID：200903062738494947

X-Yテーブル

発明者： 榊 和敏 ,  佐藤 泰正 ,  渋川 崇
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224998
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050210
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 モータを使用しないX-Yテーブルを提供すること。【解決手段】 X-Yテーブルは、Xガイド軸11とこれに沿って移動可能なXスライダ12とを含むXアクチュエータ10と、Yガイド軸とこれに沿って移動可能なYスライダとを含むYアクチュエータとを備える。Xアクチュエータは、Xガイド軸の周囲とXスライダとの間に圧力室を形成すると共に、該圧力室を軸方向に関して2つのシリンダ室に区画する隔壁をXスライダに設け、2つに区画されたシリンダ室にそれぞれ、Xガイド軸内に設けられた通路を通して圧縮空気を出入り可能にすることにより構成される。YアクチュエータもXアクチュエータと同様に構成される。Yガイド軸の両端部をXスライダに連結することにより、Yスライダに装着したテーブル30をX軸方向、Y軸方向に移動可能とする。

請求項（抜粋）：

X軸、Y軸の少なくとも一方の軸方向に延びるガイド軸とこれに沿って移動可能なスライダとを含むアクチュエータを有するX-Yテーブルにおいて、前記アクチュエータは、前記ガイド軸の周囲と前記スライダとの間に圧力室を形成すると共に、該圧力室を軸方向に関して2つのシリンダ室に区画する隔壁を前記スライダ、前記ガイド軸の一方に設け、2つに区画されたシリンダ室にそれぞれ、前記ガイド軸内に設けられた供給/排出通路を通して圧縮流体を出入り可能にすることにより構成されていることを特徴とするX-Yテーブル。

IPC (3件)：

F15B 15/00 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F15B 15/00 A ,  H01J 37/20 A ,  H01L 21/30 541 L

Fターム (14件)：

3H081AA04 ,  3H081BB03 ,  3H081CC29 ,  3H081DD26 ,  3H081DD27 ,  3H081EE20 ,  3H081EE23 ,  3H081FF26 ,  3H081HH04 ,  5C001AA03 ,  5C001CC06 ,  5F056CB21 ,  5F056EA14 ,  5F056EA16

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-035108
  
• スライド装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-357946   出願人：エヌティエヌ株式会社
• 特開昭64-035108
  
• アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-276607   出願人：エスエムシー株式会社