特許
J-GLOBAL ID:200903062740151534

窒化物半導体レーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-032186
公開番号(公開出願番号):特開2000-232257
出願日: 1999年02月10日
公開日(公表日): 2000年08月22日
要約:
【要約】【課題】 発振モードが高次モードであっても電気的及び光学的に安定したレーザ光を発振できるようにする。【解決手段】 サファイアからなる基板11上には、n型コンタクト層12よりも屈折率が小さくて活性層のエネルギーギャップよりも0.4eV以上大きく電子を活性層に閉じ込めるためのn型Al<SB>x </SB>Ga<SB>1-x </SB>Nからなる第1のn型クラッド層13と、活性層において生成される生成光の一部を取り込み、取り込んだ生成光を束縛して発振モードの変動を抑制するn型Al<SB>y </SB>Ga<SB>1-y </SB>Nからなる第1のモード変動抑制層14と、第1のn型クラッド層13と同等のn型Al<SB>x</SB>Ga<SB>1-x </SB>Nからなる第2のn型クラッド層15とが順次形成されている。ここで、各n型クラッド層13,15のAl混晶比xとモード変動抑制層14のAl混晶比yとの関係は0≦y<xを満たしている。
請求項(抜粋):
基板上に形成された第1導電型の窒化物半導体からなる第1のクラッド層と、前記第1のクラッド層の上に形成された第1導電型の窒化物半導体からなり、前記第1のクラッド層よりも屈折率が大きいモード変動抑制層と、前記モード変動抑制層の上に形成された第1導電型の窒化物半導体からなり、前記第1のクラッド層とほぼ同等の屈折率を持つ第2のクラッド層と、前記第2のクラッド層の上に形成された窒化物半導体からなる活性層と、前記活性層の上に形成された第2導電型の窒化物半導体からなる第3のクラッド層とを備えていることを特徴とする窒化物半導体レーザ装置。
IPC (2件):
H01S 5/323 ,  H01L 33/00
FI (2件):
H01S 3/18 673 ,  H01L 33/00 C
Fターム (16件):
5F041AA05 ,  5F041CA04 ,  5F041CA05 ,  5F041CA14 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA46 ,  5F041CA65 ,  5F041FF16 ,  5F073AA45 ,  5F073AA51 ,  5F073AA74 ,  5F073BA06 ,  5F073CA07 ,  5F073DA05 ,  5F073EA18
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 半導体レーザ及びその製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-206937   出願人:株式会社東芝
  • 特開平1-184973
  • 特開昭61-156788
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