特許
J-GLOBAL ID:200903062748713795
走査ビーム測定装置および測定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-008924
公開番号(公開出願番号):特開2002-214073
出願日: 2001年01月17日
公開日(公表日): 2002年07月31日
要約:
【要約】【課題】 ドット点灯パターンの位置および間隔から走査ビームの特徴量を検出可能な走査ビーム測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】 走査光学系1からの走査ビームを入射し、受光側へ射出して結像する結像レンズ7と、2次元の受光面を持ち、走査ビームを取得するCCDエリアセンサ8と、これらを走査光学系1の主走査方向に移動する駆動ステージ6と、走査ビームの点滅を制御するとともに、走査ビームの特徴量を導出する制御部20とを設け、走査ビームをドットパターンで点灯し、CCDエリアセンサ8を移動しながら受光・取得した走査ビームの画像から、ドット位置および隣接するドット間距離を求めることで、走査光学系1の性能を全走査線で評価する。
請求項(抜粋):
ビーム走査によって走査光学系の検査、検証を行なう走査ビーム測定装置であって、走査ビームを入射して結像するための結像手段と、2次元の受光面を持ち、前記結像手段からの走査ビームを受光するビーム受光手段と、前記結像手段および前記ビーム受光手段を走査光学系の主走査方向に移動する主走査方向移動手段と、走査ビームの点滅を制御する制御手段と、前記ビーム受光手段で取得した走査ビームの特徴量を導出する特徴量導出手段とを有することを特徴とする走査ビーム測定装置。
IPC (9件):
G01M 11/00
, B41J 2/44
, G01B 11/00
, G01B 11/14
, G01B 11/26
, G02B 26/10
, G06T 1/00 430
, G06T 7/60 150
, H04N 1/113
FI (9件):
G01M 11/00 T
, G01B 11/00 H
, G01B 11/14 H
, G01B 11/26 H
, G02B 26/10 Z
, G06T 1/00 430 J
, G06T 7/60 150 B
, B41J 3/00 D
, H04N 1/04 104 A
Fターム (58件):
2C362AA20
, 2C362AA48
, 2C362BA69
, 2C362BA71
, 2C362BA89
, 2F065AA17
, 2F065CC00
, 2F065FF04
, 2F065FF67
, 2F065GG06
, 2F065HH04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL15
, 2F065LL62
, 2F065MM07
, 2F065MM16
, 2F065NN02
, 2F065PP02
, 2F065QQ17
, 2F065QQ18
, 2F065QQ25
, 2F065QQ42
, 2G086EE03
, 2H045AA01
, 2H045CA82
, 2H045CB24
, 2H045DA46
, 5B047AA11
, 5B047BB04
, 5B047BC01
, 5B047BC05
, 5B047BC09
, 5B047BC11
, 5B047BC16
, 5B047BC23
, 5B047CA05
, 5B047CA19
, 5B047CB23
, 5B047DC02
, 5C072AA01
, 5C072CA06
, 5C072CA12
, 5C072DA02
, 5C072DA04
, 5C072EA05
, 5C072EA08
, 5C072HA02
, 5C072HA09
, 5C072HA13
, 5C072HB08
, 5C072MB04
, 5C072XA01
, 5C072XA05
, 5L096BA07
, 5L096CA14
, 5L096FA66
, 5L096FA69
引用特許:
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