光ビーム特性評価方法及び評価装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西脇民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176393
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009589
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】光ビームに要求される各特性のうち深度を評価可能な光ビーム特性評価方法及び評価装置を提供する。【解決手段】本発明の光ビーム特性評価装置は、被走査面をリニアーに走査するのに用いられる光ビームのレーザー光源11、12を、1ドットに相当する走査時間中点灯させる1ドット点灯制御回路35と、被走査面を基準位置として光ビームの進行方向に沿って可動可能でかつ光ビームを検出するためのエリア型固体撮像素子43aと、光ビームの進行方向各位置で、エリア型固体撮像素子43aにより検出された光ビームに基づきビーム径を演算する評価処理手段41とを有する。

請求項（抜粋）：

被走査面をリニアーに走査するのに用いられる光ビームのレーザー光源を、1ドットに相当する走査時間中点灯させると共に、前記被走査面を基準位置として前記光ビームを検出するエリア型固体撮像素子を前記光ビームの進行方向に沿って順次可動させることにより各位置におけるビーム画像を前記エリア型固体撮像素子により取得することを特徴とする光ビーム特性評価方法。

IPC (3件)：

G01M 11/00 , G02B 26/10 , H04N 1/113

FI (3件)：

G01M 11/00 T , G02B 26/10 Z , H04N 1/04 104 Z

Fターム (20件)：

2G086EE12 , 2G086HH07 , 2H045AA01 , 2H045CB02 , 2H045CB24 , 2H045CB35 , 2H045DA31 , 5C072AA03 , 5C072BA20 , 5C072CA06 , 5C072DA02 , 5C072EA05 , 5C072FA08 , 5C072HA02 , 5C072HA09 , 5C072HA12 , 5C072HB10 , 5C072JA07 , 5C072TA04 , 5C072XA10

引用特許：

審査官引用 (4件)

レーザービーム測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-277102 出願人：キヤノン株式会社
特開平3-135738
光ビーム形状の測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-107163 出願人：旭光学工業株式会社

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